Système de gravure sèche NE110
gaz : CHF3/SF6/O2/Ar
Contactez le Responsable
04 72 44 62 82
Structure de rattachement
L’Institut des Nanotechnologies de Lyon (INL) est une Unité Mixte de Recherche (UMR 5270) dont les tutelles sont le CNRS, l’ECL, l’INSA, l’Université Lyon 1 et CPE Lyon. L’INL a pour vocation de développer des recherches technologiques multidisciplinaires dans le domaine des micro et nanotechnologies et de leurs applications. Les recherches menées s’étendent des matériaux aux systèmes, laboratoire s’appuie sur la plate-forme technologique lyonnaise NanoLyon.
Autres Plateformes de la structure
Plateforme : NanoLyon
Structure de rattachement : INL
Fédération de recherche :
Tutelle de la plateforme :
Fédération de recherche :
FRAMA, C2I@L
Tutelle de la plateforme :
UCBL-CNRS-INSA-ECL-CPE
1 rue E. Fermi
Bâtiment Irène Joliot Curie
69622 Villeurbanne
Prise en Charge Totale : 
Formation :
Accès avec Assistance Légère :
Ouvert aux académiques :
Ouvert aux entreprises :
Formation :
Accès avec Assistance Légère :
Ouvert aux académiques :
Ouvert aux entreprises :
