Salle de microfabrication
Micro/nano fabrication > Lithographie > Led UV > plasma à air > profilométrie
Photolithographie pour les systèmes microfluidiques, les circuits optiques intégrés et la micro-structuration de surface. Gravure sur wafer.
Nettoyage et activation de surfaces à l’échelle nanoscopique, à température ambiante, par plasma .
Mesure de profil de prototypes par traçage.
Equipements:
Insolateur-Masqueur UV-KUB 2 : source LED 365nm, mode continu ou pulsé, résines sur wafers
Plasma Cleaner Harrick PDC-002 : air ionisé, production plasma, oxyde d’ozone
Profilomètre Dektak 3030 : balayage en X : 50 µm à 50mm ; en Z : 100 A - 131 µm
TournetteSPS-SPIN150 : dépôt résine avec ou sans aspiration
Sorbonne / armoire chimique / Hotte à flux horizontal
Contactez le Responsable
0472186112
Structure de rattachement
Laboratoire Ampère
36, avenue Guy de CollongueBâtiment H9
69134 Ecully Cedex
04 7218 6099
d'informations : Site internet
Le Laboratoire est structuré en 3 Départements scientifiques :
- Energie Electrique (EE) : créer et optimiser les dispositifs de transport, de distribution et de conversion de l’énergie Électrique en prenant en compte leur environnements
- Bio-Ingénierie (BIO) : faire émerger des concepts fondamentaux, des méthodes et des applications en bioingénierie.
- Automatique pour l’Ingénierie des Systèmes (AIS) : développer des méthodologies et des outils visant l’optimisation et la maîtrise du comporteme
Autres Plateformes de la structure
Plateforme : Plateau technique Bioingénierie
Fédération de recherche :
BioEnvis
Tutelle de la plateforme :
ECL/INSA/UCBL/CNRS
36 Avenue Guy de Collongue
Bâtiment H9
69134 Ecully
Formation :
Accès avec Assistance Légère :
Ouvert aux académiques :
Ouvert aux entreprises :
