
Pulvérisation par faisceau d'ions - Modèle Spector (VEECO) - Oxydes
- Nitrures
- Ep. max 20 cm
- Oxydes
- Nitrures
- Ep. max 20 cm
Synthèse Chimique/Matériaux > Matériaux > Dépôts sous vide > Pulvérisation par ions
Bâti de dépôt sous vide IBS permettant de traiter des composants jusqu'à 20 cm de diamètre. Dépôt d'oxyde, nitrure (SiO2, HfO2, Ta2O5, Si3N4... ). Réalisations de tout type de composants optiques (miroirs, antireflets, dichroïques….)
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L’Institut de Physique Nucléaire de Lyon (IPNL) est une Unité Mixte de Recherche (UMR 5822) agissant sous la double tutelle de l’Université Claude Bernard de Lyon (UCBL) et de l’Institut National de Physique Nucléaire et de Physique des Particules (IN2P3) du CNRS.
Autres Plateformes de la structure
Plateforme : Laboratoire Matériaux Avancés

Fédération de recherche :
FRAMA
Tutelle de la plateforme :
CNRS/IN2P3 - UCBL
7 Avenue Pierre de Coubertin
Bâtiment Virgo - - Campus de la Doua
69622 Villeurbanne

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Ouvert aux académiques :

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